格科半導體成功引入ASML先進ArF光刻機
格科微電子微信公眾號發布消息稱，目前，格科微有限公司“12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目”推進迅速。廠房和潔凈車間建設已經基本完成，并于2022年2月16日開始主設備的搬入安裝。在3月24日，格科半導體再次迎來了建廠重要標志性時刻，整套生產線中的最關鍵設備——ASML先進ArF光刻機成功搬入。
2022年3月24日上午10:18，在嚴格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下，格科微順利舉辦ASML先進ArF光刻機搬入儀式。格科半導體SVP李朝勇、各部門總監、光刻團隊及廠務團隊出席儀式，共同見證了公司這一里程碑式的重要時刻。
ArF光刻機的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目”建設的關鍵節點。依托自有工廠即格科半導體的先進制程，格科微將進一步加快先進CIS工藝和高階專利像素的研發速度，并在自有工廠實現批量生產驗證，從而極大縮短高端產品從研發到大量供應市場的周期。格科微將堅持從Fabless向Fablite轉變的經營路線，通過自有工廠為特色工藝的快速研發提供強有力的支持，以不斷創新的電路設計、更短的研發周期、更高效的運營體系為客戶提供全球一流的圖像傳感器產品，讓世界看到中國的創新。
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